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臺式掃描電鏡

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詳細介紹

• 標配高性能二次電子及4分割背散射探頭

• 一體集成式EDS探頭，成像同時采集EDS結果

• 標配低真空模式成像功能

• 全自動馬達控制及優中心傾轉設計樣品臺

• 配備性能優化燈絲

• 直觀友好用戶界面設計

• 低維護成本

NANOS以高性價比提供高分辨率SEM成像和同步快速元素分析(EDS)功能于一體，安裝簡單、使用及維護方便。

NANOS 臺式掃描電鏡

NANOS是一款全面且高性價比的臺式掃描電子顯微鏡（SEM）。它采用zui新技術進行設計，提供快速高質量的SEM成像和元素分析。它的設計先進且現代，非常適合科學研究、產品研發和工業用戶使用。

探測器

NANOS標配二次電子探測器（SED）和背散射電子探測器（BSD）。BSD具有4象限檢測功能。通過使用不同區域信號的組合，能夠實現樣品的成分或形貌細節du立成像，以及通過從多個方向突出顯示表面而具有“投影成像效果”的圖像。

元素分析

NANOS配備了一體式集成硅漂移能量色散X射線探測器(EDS) 。通過用戶界面，用戶可以選擇EDX點分析或實時元素面掃描。

優中心樣品臺

NANOS是臺式掃描電鏡中wei一一家標配優中心設計樣品臺，能夠通過用戶控制界面實現電動XY軸樣品臺移動，在SEM成像模式下可采用優中心設計樣品臺傾轉實現樣品傾斜觀察，且樣品始終保持聚焦狀態，無需重新對焦，用戶界面實時顯示jing確樣品臺傾斜角度，zui大傾斜角度為55°。

導航相機

NANOS在進樣時，標配的光學導航相機會自動對樣品進行拍照實現樣品精準導航。即便在高倍下，用戶可以輕松確定樣品位置。

低真空成像

NANOS標配低真空成像功能，低真空成像模式能夠有效減少或消除樣品荷電對成像的影響。當在高真空模式下觀察不導電的樣品時，電子積聚在樣品表面，會導致嚴重荷電現象，影響樣品觀察。

用戶操作界面

NANOS軟件界面始終將SEM圖像放在屏幕的中心，通過直觀的軟件界面進行簡單設置，即可完成樣品拍攝。該軟件為僅需快速簡單SEM成像的人提供簡易模式，同時也為深入進行樣品分析需求提供gao級模式。用戶可以通過無線鼠標和鍵盤完全控制NANOS，并可以通過iPad實現設備遠程操控。導航攝像頭（NavCam）始終處于啟用狀態，能夠確保用戶準確知道觀察樣品的對應位置。

主要技術特點

豐富的標準配置： NANOS標配二次電子探頭（SED）、四分割高性能背散射探頭（BSD）、一體式集成EDS和優中心設計樣品臺。

設計精良：

NANOS采用了可靠的現代設計，并采用了zui新的成像技術和成分分析探測器。

售后維護方便：

NANOS的設計使您可以輕松進行維護和升級，這些維護和升級可以在您的場所完成，無需售后工程師上門。

可靠性高：

憑借出色的穩定性和較小的占地面積，NANOS的架構確保了它可以在非實驗室環境中使用，滿足各種現場工況成像需求。

多操作模式選擇：

在基礎模式下，無需操作經驗，NANOS都能在短時間內完成掃描電鏡成像分析。高級模式為詳細分析提供了進一步的功能。

加速電壓

覆蓋1kV至20kV可調加速電壓，可確保高速EDS分析和面掃，準確識別樣品中的元素成分及含量。

設備維護

NANOS的開發以zui佳售后服務體驗為核心，采用可拆卸面板、模塊化組件設計、整機僅需一塊控制板和少量移動部件構成，可將售后服務要求降至最低。 NANOS的du特之處在于真空室內沒有移動部件，由于這種巧妙的設計，樣品污染的風險大大消除。

電子光源

NANOS采用強大的熱發射鎢燈絲電子源，由電磁線圈透鏡和靜電偏轉器控制實現電子束掃描。使用“eco” 設置，燈絲壽命可以延長數百小時，并且仍然可以生成高分辨率圖像。任何用戶都可以du立用很簡單的對準工具更換燈絲，確保zui短的停機時間。無需等待服務工程師來上門更換。

技術參數

圖像模式	光學	放大倍數范圍: 2 – 12x
	電子束	放大倍數范圍: 50 – 200,000x
	分辨率	<8 nm
成像方式	光學	明場
	電子束	優化鎢燈絲 (tungsten)
	加速電壓	默認: 1, 2, 5, 7, 10, 15 & 20 kV，可調范圍介于1和20kV之間
探測器		二次電子探測器 (SED)
		4分割被散射電子探測器 (BSD)
		一體化集成X射線探測器(EDS)
數字成像控制		集成式彩色數字導航相機
圖像存儲格式		JPEG, TIFF, PNG, BMP
用戶界面		通信、成像和及分析均由通過無線鼠標和鍵盤進行控制的單個窗口軟件即可支持遠程控制（如iPad）支持基礎以及gao級模式
數據存儲		網絡、USB、zhuan用工作站
樣品臺		優中心樣品臺，傾轉范圍-15°～+40°
		馬達控制X、Y軸移動范圍: 25 X 25 mm
樣品尺寸		25 mm 直徑釘臺，zui大支持60 mm 直徑
EDS 參數	探測器類型	Si漂移探測器 (SDD), 電制冷
	探測窗口面積	30 mm2
	能量分辨率	@ Mn Kα < 127 eV
	最大計數率	300,000 cps
	硬件集成	一體嵌入式，直接集成于NANOS 用戶界面
軟件		EDS分析以及面掃描結果導出功能
系統參數	主機尺寸	280mm (w) x 630mm (d) x 550mm (h)
	重量	60 kg
	真空泵	無油真空泵以及渦輪分子泵
	真空模式	高真空模式（傳統SEM）低真空模式0.4mbar（低真空SEM）通過用戶界面控制真空度
	工作站	帶有27英寸顯示器的預配置一體機。安裝SEM成像和EDS分析軟件

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